17 Чубенко Е. Б. Гревцов Н. Л. Бондаренко В. П. Гаврилин И. М. Павликов А. В. Дронов А. А. Волкова Л. С. Гаврилов С. А. пористый кремний германий кремний-германий электрохимическое осаждение спектроскопия комбинационного рассеяния света 2022 2022-09-23 10.47612/0514-7506-2022-89-5-614-620 Журнал прикладной спектроскопии Исследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов. https://www.academjournals.by/publication/15563 https://www.academjournals.by/files/15519