17 Просолович Владислав Савельевич подзатворный диэлектрик ионная имплантация термообработка нарушенное полное внутреннее отражение 2022 2022-12-16 Журнал прикладной спектроскопии Методами нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) и времяпролетной масс-спектрометрии вторичных ионов (TOF-SIMS) изучено поведение азота в пленках диоксида кремния на подложках монокристаллического кремния. Азот в диэлектрик, сформированный методом пирогенного окисления при температуре 850 oС в атмосфере влажного кислорода, вводился имплантацией ионов N+ энергией 40 кэВ дозами 2,5‧1014 и 1,0‧1015 см-2 с последующим быстрым термическим отжигом при температуре 1000 oС либо 1050 oС длительностью 15 с на воздухе. Азотирование части образцов осуществлялось при термическом отжиге в атмосфере азота с добавлением малого количества кислорода при температуре 1200 oС в течении 120 минут. Установлено, что при проведении термообработок основная часть атомов азота диффундирует к границе раздела SiО2/Si и накапливается в приграничной области оксида. В спектрах НПВО наблюдалась полоса поглощения с двумя максимумами при ~ 2320 и 2360 см-1, которая, вероятно, обусловлена колебаниями двойных кумулятивных связей типа О=Si=N−. Формирование данных связей обусловлено взаимодействием азота с оборванными связями на границе раздела кремний-диэлектрик, вследствие чего не скомпенсированные или напряженные связи заменяются на более устойчивые. https://www.academjournals.by/publication/15551