Мухаммад А. И., Гайдук П. И., Наливайко О. Ю., Колос В. В. ИК-прозрачность островко- вых структур Si/SiO₂/Si₃N₄/Si, сформированных методом селективного лазерного отжига. Журнал прикладной спектроскопии. 2022;89(4):511-518. https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-4-511-518