Ссылка для цитирования по ГОСТ
Оджаев В. Б., Петлицкий А. Н., Просолович В. С., Ковальчук Н. С., Соловьев Я. А., Жигулин Д. В., Шестовский Д. В., Янковский Ю. Н., Бринкевич Д. И. Спектры нарушенного полного внутреннего отражения азотированных структур SiO2/Si // Журнал прикладной спектроскопии. 2022 Т.89, №4. С.498-504. doi:10.47612/0514-7506-2022-89-4-498-504