17 Оджаев В. Б. Петлицкий А. Н. Просолович В. С. Ковальчук Н. С. Соловьев Я. А. Жигулин Д. В. Шестовский Д. В. Янковский Ю. Н. Бринкевич Д. И. подзатворный диэлектрик ионная имплантация термообработка нарушенное полное внутреннее отражение 2022 2022-07-26 10.47612/0514-7506-2022-89-4-498-504 Журнал прикладной спектроскопии Методами нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) и времяпролетной массспектрометрии вторичных ионов изучено поведение азота в пленках диоксида кремния на подложках монокристаллического кремния. Азот вводился в диэлектрик, сформированный методом пирогенного окисления при температуре 850 ºС в атмосфере влажного кислорода, имплантацией ионов N+ энергией 40 кэВ дозами 2.5 · 1014 и 1.0 · 1015 см–2 с последующим быстрым термическим отжигом при температуре 1000 либо 1050 ºС длительностью 15 с на воздухе. Азотирование части образцов осуществлялось при термическом отжиге в атмосфере азота с добавлением малого количества кислорода при температуре 1200 ºС в течение 120 мин. Установлено, что при термообработке основная часть атомов азота диффундирует к границе раздела SiО2/Si и накапливается в приграничной области оксида. В спектрах НПВО наблюдается полоса поглощения с максимумами при ~2320 и 2360 см–1, обусловленная колебаниями двойных кумулятивных связей типа О=Si=N–. Формирование данных связей обусловлено взаимодействием азота с оборванными связями на границе раздела кремний-диэлектрик, вследствие чего нескомпенсированные или напряженные связи заменяются на более устойчивые. https://www.academjournals.by/publication/15538 https://www.academjournals.by/files/15496