Лобанок М. В., Мухаммад А. И., Гайдук П. И. Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния. Журнал прикладной спектроскопии. 2022;89(2):204-209. https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-2-204-209