TY  - JOUR
T1  - Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
DO  - 10.47612/0514-7506-2022-89-2-204-209
AU  - Лобанок М. В., 
AU  - Мухаммад А. И., 
AU  - Гайдук П. И., 
Y1  - 2022-03-23
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15481
N2  - Методами просвечивающей электронной микроскопии установлено, что быстрая вакуумнотермическая карбидизация кремния при 1100 °C приводит к формированию слоев кубического карбидa кремния (SiC). Полоса ИК-спектра пропускания при 798 см–1, соответствующая валентному колебанию Si-C, и максимум спектра комбинационного рассеяния 793 см–1, соотносимый с поперечной оптической фононной модой SiC, подтверждают формирование слоя кубического политипа SiC. Методом ИК-спектроскопии обнаружена полоса поглощения Si-O-Si 1100 см–1. Определена зависимость коэффициента пропускания от волнового числа.