Лобанок М. В., Мухаммад А. И., Гайдук П. И. Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния // Журнал прикладной спектроскопии. 2022 Т.89, №2. С.204-209. doi:10.47612/0514-7506-2022-89-2-204-209