@article{Лобанок М. В.2022-03-23,
author = { Лобанок М. В.,  Мухаммад А. И.,  Гайдук П. И.},
title = {Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния},
year = {2022},
doi = {10.47612/0514-7506-2022-89-2-204-209},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Методами просвечивающей электронной микроскопии установлено, что быстрая вакуумнотермическая карбидизация кремния при 1100 °C приводит к формированию слоев кубического карбидa кремния (SiC). Полоса ИК-спектра пропускания при 798 см–1, соответствующая валентному колебанию Si-C, и максимум спектра комбинационного рассеяния 793 см–1, соотносимый с поперечной оптической фононной модой SiC, подтверждают формирование слоя кубического политипа SiC. Методом ИК-спектроскопии обнаружена полоса поглощения Si-O-Si 1100 см–1. Определена зависимость коэффициента пропускания от волнового числа.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15481},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15439},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}