@article{Ротштейн В. М.2022-02-03, author = { Ротштейн В. М., Турдалиев Т. К., Ашуров Х. Б.}, title = {Анализ пористого нанокремния на основе спектроскопии комбинационного рассеяния света}, year = {2022}, doi = {10.47612/0514-7506-2022-89-1-51-56}, publisher = {NP «NEICON»}, abstract = {Представлены технологии получения наноструктурированного кремния, в том числе пористого нанокремния. Описан способ синтеза пористого нанокремния методом электрохимического травления. Приведены основные параметры генерации пористого кремния с заданными характеристиками. Описаны результаты исследований образцов наноструктурированного пористого кремния, проведенных с использованием спектрометра InVia Raman Renishaw, позволяющего регистрировать и идентифицировать как аморфную, так и кристаллическую фазовую составляющую в образцах. По результатам гранулометрических исследований установлена кристаллическая структура образцов. Аппроксимацией спектров комбинационного рассеяния света подтверждено отсутствие аморфного кремния в исследуемых образцах. В спектрах комбинационного рассеяния света образцов наблюдается сдвиг линий в сторону меньших энергий, характерный для наночастиц при уменьшении их размеров. В спектрах фотолюминесценции синтезированных образцов пористого кремния наблюдается устойчивая интенсивная полоса в области 700–900 нм, что подтверждает нанокристаллический характер образцов. Продемонстрирована эффективность и чувствительность спектроскопии комбинационного рассеяния света, позволяющей регистрировать даже незначительные изменения в кристаллической и аморфной фракциях кремниевых структур.}, URL = {https://www.academjournals.by/publication/15452}, eprint = {https://www.academjournals.by/files/15411}, journal = {Журнал прикладной спектроскопии}, }