17 Босак Н. А. Чумаков А. Н. Баран Л. В. Малютина-Бронская В. В. Ивкович М. Сакан Н. Иванов А. А. Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении высокочастотное лазерное воздействие структура тонких пленок спектры пропускания и отражения электрофизические характеристики 2023 2023-11-24 Журнал прикладной спектроскопии Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см2 на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si. https://www.academjournals.by/publication/15408 https://www.academjournals.by/files/15367