Бринкевич Д. И., Гринюк Е. В., Бринкевич С. Д., Просолович В. С., Колос В. В., Зубова О. А., Ластовский С. Б. Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографии. Журнал прикладной спектроскопии. 2023;90(6):863-869.