RT - article
SR - Electronic
T1 - Оптические  свойства  слоев  кремния,  гипердопированных  селеном:  эффекты  лазерной и термической обработки
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2023-03-25
DO - 10.47612/0514-7506-2023-90-2-266-274
A1 - Комаров Ф. Ф., 
A1 - Власукова Л. А., 
A1 - Мильчанин О. B., 
A1 - Пархоменко И. И., 
A1 - Berencen Y. , 
A1 - Альжанова А. Е., 
A1 - Ван Тин , 
A1 - Ƶuk J. , 
YR - 2023
UL - https://www.academjournals.by/publication/15310
AB - Слои кремния с концентрацией примеси селена до 1021 см–3 (превышает предел равновесной растворимости данной примеси в кремнии на четыре порядка величины) получены методом высокодозной ионной имплантации с последующим импульсным лазерным отжигом при плотностях энергии в импульсе от 0.5 до 2.5 Дж/см2. Резерфордовское обратное рассеяние ионов He+ показало, что после лазерного отжига до 70 % атомов внедренной примеси локализованы в узлах кристаллической решетки кремния. Гипердопированные селеном  слои  кремния  характеризуются  повышенным (до 45—55 %) поглощением в спектральном диапазоне 1100—2400 нм. После термообработки (550 °C, 30 мин+850 °C, 5 мин) возрастания ИК-поглощения в сравнении с исходным кремнием не обнаружено, что связывается с потерями селена в результате диффузионного перераспределения. Проведена теоретическая оценка процессов рекристаллизации слоев кремния, аморфизованных ионами селена, и диффузионного перераспределения примеси в условиях равновесных термообработок.