@article{Комаров Ф. Ф.2023-03-25,
author = { Комаров Ф. Ф.,  Власукова Л. А.,  Мильчанин О. B.,  Пархоменко И. И.,  Berencen Y. ,  Альжанова А. Е.,  Ван Тин ,  Ƶuk J. },
title = {Оптические  свойства  слоев  кремния,  гипердопированных  селеном:  эффекты  лазерной и термической обработки},
year = {2023},
doi = {10.47612/0514-7506-2023-90-2-266-274},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Слои кремния с концентрацией примеси селена до 1021 см–3 (превышает предел равновесной растворимости данной примеси в кремнии на четыре порядка величины) получены методом высокодозной ионной имплантации с последующим импульсным лазерным отжигом при плотностях энергии в импульсе от 0.5 до 2.5 Дж/см2. Резерфордовское обратное рассеяние ионов He+ показало, что после лазерного отжига до 70 % атомов внедренной примеси локализованы в узлах кристаллической решетки кремния. Гипердопированные селеном  слои  кремния  характеризуются  повышенным (до 45—55 %) поглощением в спектральном диапазоне 1100—2400 нм. После термообработки (550 °C, 30 мин+850 °C, 5 мин) возрастания ИК-поглощения в сравнении с исходным кремнием не обнаружено, что связывается с потерями селена в результате диффузионного перераспределения. Проведена теоретическая оценка процессов рекристаллизации слоев кремния, аморфизованных ионами селена, и диффузионного перераспределения примеси в условиях равновесных термообработок.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15310},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15269},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}