TY  - JOUR
T1  - Влияние температуры окислительного отжига на структурные   и оптические характеристики пленок оксидов олова
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Ксеневич В. К., 
AU  - Доросинец В. А., 
AU  - Самарина М. А., 
AU  - Адамчук Д. В., 
AU  - Абдурахманов Г. , 
AU  - Liu H. , 
Y1  - 2024-11-16
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15239
N2  - Исследованы кристаллическая структура и оптические характеристики неупорядоченных пленок оксидов олова, синтезированных методом магнетронного распыления мишени олова на стеклянные подложки с последующим двухстадийным отжигом на воздухе. Анализ микроструктуры пленок оксидов олова проведен методом рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рас сеяния света. Измерены спектры пропускания образцов в диапазоне длин волн λ = 200—3000 нм.  С помощью конвертного метода определены оптические константы (показатель преломления n(λ), коэффициент поглощения α(λ)) тонких пленок оксидов олова в зависимости от длины волны. Показана возможность получения пленок оксидов олова с управляемо варьируемыми оптическими пара метрами (коэффициент поглощения α до 82 % в видимом диапазоне электромагнитного спектра, показатель преломления n = 2—2.6, оптическая щель Тауца в диапазоне 2.62—3.46 эВ) посредством изменения температуры на второй стадии окислительного отжига в диапазоне 325—475 °С.