17 Ксеневич В. К. Доросинец В. А. Самарина М. А. Адамчук Д. В. Абдурахманов Г. Liu H. пленки оксидов олова магнетронное распыление окислительный отжиг рентгеновская дифракция спектроскопия комбинационного рассеяния света коэффициент поглощения 2024 2024-11-16 Журнал прикладной спектроскопии Исследованы кристаллическая структура и оптические характеристики неупорядоченных пленок оксидов олова, синтезированных методом магнетронного распыления мишени олова на стеклянные подложки с последующим двухстадийным отжигом на воздухе. Анализ микроструктуры пленок оксидов олова проведен методом рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рас сеяния света. Измерены спектры пропускания образцов в диапазоне длин волн λ = 200—3000 нм.  С помощью конвертного метода определены оптические константы (показатель преломления n(λ), коэффициент поглощения α(λ)) тонких пленок оксидов олова в зависимости от длины волны. Показана возможность получения пленок оксидов олова с управляемо варьируемыми оптическими пара метрами (коэффициент поглощения α до 82 % в видимом диапазоне электромагнитного спектра, показатель преломления n = 2—2.6, оптическая щель Тауца в диапазоне 2.62—3.46 эВ) посредством изменения температуры на второй стадии окислительного отжига в диапазоне 325—475 °С. https://www.academjournals.by/publication/15239 https://www.academjournals.by/files/15198