Ссылка для цитирования по ГОСТ

Баталов Р. И., Базаров В. В., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Новиков Г. А., Шустов В. А., Галкин К. Н., Чистохин И. Б., Комаров Ф. Ф., Мильчанин О. В., Пархоменко И. Н. Структурные, оптические и фотоэлектрические свойства кремния, имплантированного ионами индия и сурьмы и подвергнутого импульсному отжигу // Журнал прикладной спектроскопии. 2024 Т.91, №6. С.804-812.