17 Мухаммад А. И. Гайдук П. И. многослойная структура спектр поглощения легированный кремний плазмонное поглощение 2024 2024-04-27 Журнал прикладной спектроскопии С помощью теоретически рассчитанных спектров поглощения инфракрасного излучения  в структурах Ti/SiO2/Si3N4/n+-Si с островковым поверхностным слоем показано, что с увеличением размеров островков n+-Si при неизменном периоде их размещения на поверхности максимум поглощения уширяется и сдвигается в область с большей длиной волны. Предполагается, что этот максимум связан с возбуждением плазмонных колебаний в поверхностном островковом слое. Показано, что структура с размером островков 3 мкм и периодом их размещения 6 мкм поглощает ~99 % падающего на нее излучения на длине волны, практически равной периоду (6.2 мкм). Другие полосы поглощения в спектральных диапазонах ~4 мкм и 9.0—9.5 мкм возникают независимо от размеров островков и связаны с поглощением в слое диоксида кремния. Установлено, что слой нелегированного кремния толщиной до 200 нм, расположенный между Ti-подложкой и слоем SiO2, незначительно уменьшает интенсивность и полуширину максимума плазмонного поглощения. https://www.academjournals.by/publication/15118 https://www.academjournals.by/files/15077