17 Оводок Е. А. Ивановская М. И. Селезнев А. Е. Злотский С. В. Углов В. В. Сотова Е. покрытие-Ti–Al–N Ti2AlN МАХ-фаза Ti4AlN3 рентгеновская дифракция энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния 2025 2025-02-07 Журнал прикладной спектроскопии Проведено сравнительное исследование структурно-фазового состояния систем Ti–Al–N, полученных в виде покрытия и объемного материала. Для характеристики структуры использованы методы рентгеновской дифракции, энергодисперсионной спектроскопии (ЭДС) и спектроскопии комбинационного рассеяния (КР). Применение ЭДС и КР позволило верифицировать данные рентгеновской дифракции о фазовом составе образцов, что особенно актуально при исследовании многофазных Ti–Al–N-покрытий, а также выявить особенности поверхностной микроструктуры покрытия. Покрытие Ti–Al–N получено методом химического осаждения Ti и Al в атмосфере N2 на Ti-подложке с последующим отжигом в вакууме при 700, 800, 900 и 1000 ºС. Объемный образец Ti–Al–N получен реакционным спеканием порошков Ti, Al, TiN в вакууме при 1200 и 1300 ºС. Ti2AlN МАХ-фаза появляется в покрытии при более низкой температуре, чем в объемном образце, и отличается меньшей термической устойчивостью. Покрытие Ti–Al–N отличается большей многофазностью, в нем после отжига в вакууме при 900 ºС регистрируются фазы Ti2AlN, Ti4AlN3, TiN, Ti2N, AlN. Разрушение структуры МАХ-фазы происходит при 1000 ºС. В объемном образце после отжига в вакууме при 1300 ºС основной является фаза Ti2AlN с небольшой примесью TiN и TiAl, разрушение Ti2AlN МАХ-фазы происходит при 1400 ºС.  https://www.academjournals.by/publication/15053 https://www.academjournals.by/files/15015