%0 article %A Оводок Е. А., %A Ивановская М. И., %A Селезнев А. Е., %A Злотский С. В., %A Углов В. В., %A Сотова Е. , %T Формирование структуры MAX-фазы в покрытии и объемном материале Ti–Al–N при высокотемпературном отжиге в вакууме %D 2025 %J Журнал прикладной спектроскопии %X Проведено сравнительное исследование структурно-фазового состояния систем Ti–Al–N, полученных в виде покрытия и объемного материала. Для характеристики структуры использованы методы рентгеновской дифракции, энергодисперсионной спектроскопии (ЭДС) и спектроскопии комбинационного рассеяния (КР). Применение ЭДС и КР позволило верифицировать данные рентгеновской дифракции о фазовом составе образцов, что особенно актуально при исследовании многофазных Ti–Al–N-покрытий, а также выявить особенности поверхностной микроструктуры покрытия. Покрытие Ti–Al–N получено методом химического осаждения Ti и Al в атмосфере N2 на Ti-подложке с последующим отжигом в вакууме при 700, 800, 900 и 1000 ºС. Объемный образец Ti–Al–N получен реакционным спеканием порошков Ti, Al, TiN в вакууме при 1200 и 1300 ºС. Ti2AlN МАХ-фаза появляется в покрытии при более низкой температуре, чем в объемном образце, и отличается меньшей термической устойчивостью. Покрытие Ti–Al–N отличается большей многофазностью, в нем после отжига в вакууме при 900 ºС регистрируются фазы Ti2AlN, Ti4AlN3, TiN, Ti2N, AlN. Разрушение структуры МАХ-фазы происходит при 1000 ºС. В объемном образце после отжига в вакууме при 1300 ºС основной является фаза Ti2AlN с небольшой примесью TiN и TiAl, разрушение Ti2AlN МАХ-фазы происходит при 1400 ºС.  %U https://www.academjournals.by/publication/15053