TY  - JOUR
T1  - Формирование и перспективы применения пленочных структур с использованием анодирования, золь-гель-синтеза и фотолитографии
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук
AU  - Гапоненко Н. В., 
Y1  - 2025-03-11
UR  - https://www.academjournals.by/publication/13741
N2  - Представлены результаты изготовления планарных структур на основе ксерогелей, сформированных на пористом анодном оксиде алюминия различной морфологии, с применением фотолитографии без металлической маски. Методом растровой электронной микроскопии исследовалась морфология структур ксерогель оксида титана/пористый анодный оксид алюминия, отличающихся размером пор анодного оксида алюминия, после фотолитографии и химического травления. Установлено, что более четкие стенки микроцилиндров и микродисков формируются при использовании пористого анодного оксида алюминия с размером пор менее 50 нм, что обусловлено заполнением пор ксерогелем оксида титана. Изготовлены экспериментальные образцы микроцилиндров на основе пористого анодного оксида алюминия толщиной от 30 до 50 мкм и размером пор 20-25 нм с применением анодирования, золь-гель-метода формирования пленок и фотолитографии.