RT - article
SR - Electronic
T1 - Энергетические параметры катодно-дуговой эрозионной плазмы в процессе синтеза алмазоподобных углеродных покрытий
JF - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук
SP - 2025-03-11
A1 - Смягликов И. П., 
A1 - Селифанов С. О., 
YR - 2016
UL - https://www.academjournals.by/publication/13603
AB - Рассматривается катодно-дуговая углеродная плазма в вакууме и в атмосфере ацетилена при давлении от 0,2 до 2,0 Па в процессе нанесения алмазоподобных углеродных покрытий. Импульсно-периодические потоки плазмы генерировались в результате распыления графитового катода в четырехэлектродной дуговой системе с самовосстанавливающимся тонкопленочным токопроводом устройства поджига. С применением зондов Ленгмюра установлено, что подложка находится под ускоряющим плавающим потенциалом - (15-35) В. Показано, что функция распределения электронов по энергиям является максвелловской с температурой электронов около 50 эВ. Скорость самых высокоэнергетических электронов плазменного потока превышает 30 км/с, в то время как скорость направленного движения плазмы составляет 20 км/с в вакууме и 8 км/с в атмосфере ацетилена. При импульсном дуговом разряде в атмосфере ацетилена наблюдается существенное уменьшение энергии ионов углерода от 30 до 4 эВ по сравнению с вакуумным катодно-дуговым разрядом.