Структурные превращения в тонких металлических пленках при импульсном лазерном воздействии
Рассмотрены особенности структурных превращений, происходящих в металлических пленках при импульсном лазерном воздействии, и получение наночастиц в жидкостях методом лазерной абляции. Рассмотрены движущие силы рекристаллизации, вопросы роста зерен, образования канавок термического травления, формирования пор. Отмечена перспективность таких исследований в области сверхкоротких импульсов воздействия.
1. Маркевич, М. И. О закалочных явлениях в тонких пленках никеля / М. И. Маркевич, С. Г. Розин, А. М. Чапланов// Изв. СССР. Сер. «Металлы». - 1986. - № 1. - С. 149-151.
2. Маркевич, М. И. Закалка вакансий в тонких пленках никеля /М. И. Маркевич, А. М. Чапланов // Металлофизика. -1985. - Т. 7, № 3. - С. 100-103.
3. Расчет миграции вакансий в тонких пленках никеля при их неравновесной концентрации / М. И. Маркевич [и др.] // Металлофизика. - 1983. - Т. 5, № 3. - С. 109-111.
4. Маркевич, М. И. О возможности закалки пленок алюминия при лазерной обработке / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов // Физика металлов и металловедение. - 1985. - Т. 60, № 2. - С. 405-408.
5. Либенсон, М. Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние / М. Н. Либенсон. - СПб: Наука, 2007. - 424 с.
6. Маркевич, М. И. Изменение концентрации вакансий в пленках алюминия на подложках при импульсной термообработке / М. И. Маркевич, Э. И. Точицкий, А. М. Чапланов // Физика и химия обработки материалов. - 1987. -№ 6. - С. 92-100.
7. Markevich, M. I. On the kinetiks of redistribution of vacancies in f. c. c. metals films under high rate heating / М. I. Markevich, I. I. Tochizki, A. M. Chaplanov // Thin Solid Films.- 1989. - Vol. 168, N 3. - P. 363-368.
8. Маркевич, М. И. Импульсная лазерная обработка тонких легированных пленок алюминия / М. И. Маркевич, А. Н. Шибко, А. М. Чапланов // Металлофизика. - 1989. - Т. 11, № 3. - С. 21- 24.
9. Термоупругие напряжения в МОП-структурах при импульсном отжиге / М. И. Маркевич [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 1992. - № 2. - С. 55-58.
10. Вейко, В. П. Лазерные технологии в микроэлектронике / В. П. Вейко, С. М. Метев. - София: Изд-во Болгарской АН, 1991. - 363 с.
11. Технология тонких пленок: В 2 т. - М.: Сов. Радио. 1977. - Т. 1. - 602 с. - Т. 2. - 768 с.
12. Точицкий, Э. И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок /Э. И. Точицкий. - Минск: Наука и техника, 1976. - 376 с.
13. Трусов, Л. И. Островковые металлические пленки/ Л. И. Трусов, В. А. Холмянский. - М.: Металлургия, 1973. - 321 с.
14. Коттерил, Р. Дислокация и пластическое течение в кристаллах / Р. Коттерил; пер. с англ. - М.: Металлургия. -1988. - 267 с.
15. Исследование структуры тонких металлических пленок после воздействия фемтосекундных лазерных импульсов /В. П. Вейко [и др.] // Науч.-техн. вестн. Санкт-Петербургского гос. ун-та информационных технологий, механики и оптики. - 2010. - № 5. - Т. 69. - С. 21-25.
16. Влияние импульсного лазерного воздействия на структуру тонких пленок никеля / В. К. Гончаров [и др.] // Вести Гомельского государственного ун-та им. Ф. Скорины. - 2006. - № 6 (39). - Ч. 1. - С. 58-60.
17. Образование пор в тонких пленках никеля при лазерном воздействии / В. К. Гончаров [и др.] // Неорганические материалы. - 2007. - Т. 43, № 5. - С. 556-559.
18. Чапланов, А. М. Особенности рекристаллизации тонких металлических пленок при стационарном и импульсном отжиге / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич // Неорганические материалы. - Т. 39, № 3. - С. 322-324.
19. Маркевич, М. И. Особенности быстрого термического отжига при импульсной световой обработке / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов// Физика и химия обработки материалов. - 2002. - № 4. - С. 102-106.
20. Чапланов, А. М. Рекристаллизация в металлических пленках при стационарной и импульсной термообработке / А. М. Чапланов // Физика металлов и металловедение. - 1990. - № 8. - C. 134-141.
21. Маркевич, М. И. Стимулированная собирательная рекристаллизация в тонких пленках ГЦК-металлов при воздействии импульсного лазерного излучения / М. И. Маркевич // Неорганические материалы. - 2000. - Т. 36, № 7. - С. 825-827.
22. Mullins, W. W. Theory of Thermal Growing / W. W Mullins // J. Appl. Phys. - 1957. - Vol. 8, N 3. - P. 333-341.
23. Markevich, M. I. In sulphurous liquids under action of chock waves / M. I. Markevich, F. A. Piskunov // High Power Laser-Science and Engineering. - Karlovy Vary: Czech R. NATO Advanced study institute, 1995. - P. 49.
24. Markevich, M. I. Pulsed Laser-induced Syntesis of Metal Sulfides in Sylphurous Liquids under Action of Shock Waves / M. I. Markevich, F. A. Piskunov // High Power Lasers-Science and Engineering; еd. by R. Kossowsky, M. Elinek, R. F. Walter. - Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 1996. - Vol. 7. - P. 561-565.
25. Возможности получения наночастиц никеля в водной среде с помощью лазерного воздействия / В. К. Гончаров [и др.] // Инженерно-физический журнал. - 2008. - Т. 81, № 2. - С. 206- 210.
26. Исследование коллоидных растворов селена, созданных по лазерной технологии / Е. Е. Казилин [и др.] // Перспективные материалы. - 2008. - № 3. - С. 60 -63.
27. Формирование коллоидных растворов металлов в воде методом лазерной абляции / В. К. Гончаров [и др.]// Актуальные проблемы физики твердого тела. - Минск, 2009. - С. 381-382.
28. Палатник, Л. С. Ориентированная кристаллизация / Л. С. Палатник, И. И. Папиро. - М.: Металлургия, 1964. - 407 с.