@article{Федосюк В. М.2020-07-07,
author = { Федосюк В. М.,  Зубарь Т. И.,  Труханов А. В.},
title = {Влияние параметров электролитического осаждения на структуру и микромеханические свойства пленок Ni–Fe},
year = {2020},
doi = {10.29235/1561-8358-2020-65-2-135-144},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Проведены исследования корреляции между режимами синтеза, химическим составом, кристаллической структурой и микроструктурой поверхности, а также механическими свойствами тонких наноструктурированных пленок Ni–Fe. Тонкие пленки Ni–Fe были получены в различных режимах электролитического осаждения: в режиме постоянного тока и в импульсных режимах с длительностью импульса 1 с, 10–3 и 10–5 с. Показано, что уменьшение длительности импульса до 10–5 с приводит к увеличению модуля упругости и твердости пленок благодаря малому размеру зерна и, соответственно, большому количеству границ зерен с повышенным сопротивлением пластической деформации. Исследовано влияние термической обработки при T = 100, 200, 300 и 400 °С на микроструктуру поверхности и микромеханические свойства пленок. После термообработки при 400 °С наблюдалось увеличение размера зерна от 6 до 200 нм, что в сочетании с процессами взаимодиффузии материала подслоя и пленки привело к значительному снижению твердости и модуля упругости. Пленки Ni–Fe с улучшенными механическими свойствами могут быть использованы как покрытия корпусов микроэлектроники для электромагнитной их защиты.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/13394},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/13360},
journal = {Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук},
}