Волочко А. Т., Зеленин В. А., Мельник Н. Ю. Сплавы системы Cr–Ni–Si для получения резистивных элементов интегральных микросхем методом магнетронного распыления. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук. 2020;65(1):35-42.
https://doi.org/10.29235/1561-8358-2020-65-1-35-42