Ссылка для цитирования по Vancouver

Волочко А. Т., Зеленин В. А., Мельник Н. Ю. Сплавы системы Cr–Ni–Si для получения резистивных элементов интегральных микросхем методом магнетронного распыления. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук. 2020;65(1):35-42. https://doi.org/10.29235/1561-8358-2020-65-1-35-42