17 Багдюн А. А. Соломахо В. Л. нанометр принцип Аббе наноизмерительная машина NMM интерферометр атомно-силовая микроскопия погрешность метрологическая оценка 2022 2022-04-07 10.29235/1561-8358-2022-67-1-86-93 Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук Приводится описание принципа измерения линейных размеров с помощью наноизмерительной машины (NMM), реализующей абсолютный интерферометрический метод измерения по трем координатным осям в диапазоне 25X25X5 мм3. Выявлены источники неисключенной систематической погрешности измерений, которые условно разделены на факторы, связанные с методикой измерения длины с помощью интерферометра и факторы, определяемые конструктивными и технологическими особенностями наноизмерительной машины. Установлены статистические оценки результата измерений и рассчитана погрешность передачи размера единицы – длины метра в нанометровом диапазоне измерений. Полученные результаты позволяют утверждать, что наноизмерительная машина – уникальное средство измерения, позволяющее проводить измерения миллиметровых размеров с нанометровой точностью. Полученные результаты могут быть использованы для метрологической оценки мер высоты ступени и ширины шага, при калибровке средств измерений в нанометровом диапазоне, мер шероховатости в большом диапазоне при калибровке профилометров и контурографов, а также шаблонов и объект-микрометров для измерительных микроскопов высокой точности. https://www.academjournals.by/publication/13294 https://www.academjournals.by/files/13260