Акула И. П., Залесский В. Г., Чекан Н. М., Овчинников Е. В. Фторсодержащие покрытия алмазоподобного углерода. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук. 2024;69(3):183-193. https://doi.org/10.29235/1561-8358-2024-69-3-183-189