TY  - JOUR
T1  - Фторсодержащие покрытия алмазоподобного углерода
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук
DO  - 10.29235/1561-8358-2024-69-3-183-189
AU  - Акула И. П., 
AU  - Залесский В. Г., 
AU  - Чекан Н. М., 
AU  - Овчинников Е. В., 
Y1  - 2024-10-06
UR  - https://www.academjournals.by/publication/13239
N2  - Получены фторсодержащие покрытия алмазоподобного углерода (DLC, от англ. diamondlike carbon) методом CVD осаждения с использованием деструкции газообразных углеводородов высокоэнергетическим ионным источником с анодным слоем. Исследован химический состав, структура, поверхностная энергия, механотрибологические характеристики синтезированного тонкопленочного материала. Показано, что содержание фтора в осажденных покрытиях достигает 31 ат.%. Установлено, что присутствие фтора в покрытии DLC способствует формированию нанодисперсных графитоподобных структур. Фторсодержащие покрытия с большим содержанием sp2 -гибридизированных атомов углерода и фрагментов графита демонстрируют снижение твердости. Такие покрытия обладают очень низким коэффициентом трения на уровне 0,03–0,07 в силу малого значения поверхностной энергии, которая может быть снижена в 1,5 раза по сравнению с беспримесным DLC. Установлено, что различные содержания фтора в тонкопленочном материале алмазоподобного углерода по-разному сказываются на взаимодействии покрытия DLC с полярными/неполярными диэлектриками. Результаты исследований могут быть использованы для технологии получения твердосмазочных материалов в узлах трения машин и механизмов, а также представляют интерес для медицины, пищевой промышленности, производства пластмасс, химических волокон в качестве химически инертных и коррозионностойких покрытий.