Акула И. П., Залесский В. Г., Чекан Н. М., Овчинников Е. В. Фторсодержащие покрытия алмазоподобного углерода // Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук. 2024 Т.69, №3. С.183-193. doi:10.29235/1561-8358-2024-69-3-183-189