TY  - JOUR
T1  - ОСОБЕННОСТИ ТРАНСФОРМАЦИИ КИСЛОРОДОСОДЕРЖАЩИХ ЦЕНТРОВ В КРЕМНИИ ПРИ ОТЖИГЕ В ИНТЕРВАЛЕ ТЕМПЕРАТУР 450–700 °C: ДАННЫЕ ИК-ПОГЛОЩЕНИЯ
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
AU  - Толкачева Е. А., 
AU  - Холод О. Н., 
AU  - Мурин Л. И., 
Y1  - 2016-05-15
UR  - https://www.academjournals.by/publication/13016
N2  - Методом ИК-поглощения исследованы особенности трансформации кислородосодержащих радиационно-индуцированных центров в кристаллах кремния, полученных методом Чохральского и облученных быстрыми электронами или нейтронами, в процессе последующего высокотемпературного отжига при Т ≥ 450 ºС. Установлено, что в интервале температур 450–700 ºС имеет место формирование вакансионно-кислородных комплексов VOm (m ≥ 5), обусловливающих появление ряда колебательных полос поглощения в интервале волновых чисел 980–1115 см–1.