Углов В. В. ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ ЦИРКОНИЯ И КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННЫХ ИОНАМИ ГЕЛИЯ. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2018;54(1):110-118.
https://doi.org/10.29235/1561-2430-2018-54-1-110-118