RT - article
SR - Electronic
T1 - ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ ЦИРКОНИЯ И КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННЫХ ИОНАМИ ГЕЛИЯ
JF - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
SP - 2018-04-05
DO - 10.29235/1561-2430-2018-54-1-110-118
A1 - Углов В. В., 
YR - 2018
UL - https://www.academjournals.by/publication/12906
AB - Работа посвящена исследованию процессов эрозии поверхности многослойных пленок ZrN/SiNx , облученных ионами He (30 кэВ) и отожженных в вакууме при T = 600 °С. Выявлено, что многослойные пленки ZrN/SiNx остаются устойчивыми к образованию блистеров и отшелушиванию при облучении ионами He (30 кэВ) до дозы 8∙1016 см–2. Обнаружено влияние толщины кристаллического и аморфного слоя на характер и степень эрозии поверхности многослойных пленок в результате пострадиационного отжига при T = 600 °С. Обсуждаются возможные механизмы блистеринга и отшелушивания в многослойных системах ZrN/SiNx .