@article{Углов В. В.2018-04-05,
author = { Углов В. В.},
title = {ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ ЦИРКОНИЯ И КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННЫХ ИОНАМИ ГЕЛИЯ},
year = {2018},
doi = {10.29235/1561-2430-2018-54-1-110-118},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Работа посвящена исследованию процессов эрозии поверхности многослойных пленок ZrN/SiNx , облученных ионами He (30 кэВ) и отожженных в вакууме при T = 600 °С. Выявлено, что многослойные пленки ZrN/SiNx остаются устойчивыми к образованию блистеров и отшелушиванию при облучении ионами He (30 кэВ) до дозы 8∙1016 см–2. Обнаружено влияние толщины кристаллического и аморфного слоя на характер и степень эрозии поверхности многослойных пленок в результате пострадиационного отжига при T = 600 °С. Обсуждаются возможные механизмы блистеринга и отшелушивания в многослойных системах ZrN/SiNx . },
URL = {https://www.academjournals.by/publication/12906},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/12872},
journal = {Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук},
}