Константинов С. В., Комаров Ф. Ф., Чижов И. В., Зайков В. А. Структура и микромеханические свойства покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN, сформированных методом реактивного магнетронного распыления. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2023;59(3):241-252. https://doi.org/10.29235/1561-2430-2023-59-3-241-252