Константинов С. В., Комаров Ф. Ф., Чижов И. В., Зайков В. А. Структура и микромеханические свойства покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN, сформированных методом реактивного магнетронного распыления // Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2023 Т.59, №3. С.241-252. doi:10.29235/1561-2430-2023-59-3-241-252