17 Гайшун В. Е. Косенок Я. А. Васькевич В. В. Тюленкова О. И. Борисенко В. Е. Ковальчук Н. С. Петлицкий А. Н. Чумак С. В. золь-гель метод соединение пластин кремния кремний – изолятор – кремний 2023 2023-10-03 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240 Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук    Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор – кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в технологических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин. https://www.academjournals.by/publication/12694 https://www.academjournals.by/files/12660