Ссылка для цитирования по ГОСТ
Курилкина С. Н., Хило Н. А. Оптическая нанолитография на основе плазмонного резонанса // Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2024 Т.60, №4. С.335-343. doi:10.29235/1561-2430-2024-60-4-335-343