@article{Курилкина С. Н.2025-01-08,
author = { Курилкина С. Н.,  Хило Н. А.},
title = {Оптическая нанолитография на основе плазмонного резонанса},
year = {2024},
doi = {10.29235/1561-2430-2024-60-4-335-343},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Предложена и исследована схема для оптической нанолитографии интерференционного типа, основанная на использовании возбуждения встречных поверхностных плазмон-поляритонов на плоской границе раздела металлодиэлектрической наноструктуры. Выполнен детальный расчет схемы оптической нанолитографии, предназначенной для формирования синусоидальных дифракционных решеток. Показано, что использование призмы ввода с большим показателем преломления позволяет более чем на порядок повысить коэффициент усиления формируемого в фоторезисте светового поля. Установлено, что путем изменения толщины слоев металлодиэлектрической структуры можно изменять волновое число, при котором реализуется условие плазмонного резонанса, и тем самым управлять периодом формируемых решеток и глубиной проникновения поля в фоторезист. Предложенная схема может быть использована для создания двумерных, круговых решеток, а также решеток произвольной формы при соответствующем выборе формы вводной призмы.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/12671},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/12637},
journal = {Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук},
}