RT - article
SR - Electronic
T1 - Оптические и электрофизические свойcтва нитридных TiAlSiN и карбонитридных TiAlSiCN покрытий: влияние режимов реактивного магнетронного нанесения
JF - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
SP - 2024-07-10
DO - 10.29235/1561-2430-2024-60-2-162-176
A1 - Константинов С. В., 
A1 - Комаров Ф. Ф., 
A1 - Чижов И. В., 
A1 - Зайков В. А., 
YR - 2024
UL - https://www.academjournals.by/publication/12655
AB - Актуальной является разработка тонкопленочных терморегулирующих покрытий для малых космических аппаратов. Покрытия на основе нитрида титана, в силу своей высокой устойчивости к облучению высокоэнергетическими частицами и термоциклированию, способны функционировать в неблагоприятных условиях ближнего и дальнего космоса. Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiAlSiN, TiAlSiCN на подложках из оксида кремния SiO2, ситалла CT-1 и монокристаллического кремния Si(100). Проведено исследование электрофизических и оптических свойств сформированных покрытий. Покрытия демонстрируют хорошую отражательную способность в инфракрасном диапазоне спектра (700–2000 нм), что важно для снижения нагрева космического аппарата (КА) под воздействием прямых солнечных лучей. В видимом диапазоне (400–700 нм) наблюдается низкий уровень суммарного Rсумм отражения. Это перспективно для спутников, предназначенных для наблюдений поверхности Земли. Получены значения коэффициентов солнечного поглощения αs и коэффициентов переизлучения ε0, отношения αs/ε0, а также равновесной температуры Tр для исследуемых образцов. Определены величины удельного Rуд и поверхностного R□ электросопротивления, концентрации электронов N и подвижности электронов μ. Установлено, что пленки TiAlSiN, TiAlSiCN являются электропроводящими: Rуд TiAlSiN = (92÷4260) ∙ 10–7 Ом ∙ м, RудTiAlSiCN = (51÷2360) ∙ 10–7 Ом ∙ м. Обнаружено, что добавление углерода в состав покрытия снижает их электросопротивление. Полученные наноструктурированные покрытия нитрида TiAlSiN и карбонитрида TiAlSiCN представляют интерес для использования их в качестве структурных элементов терморегулирующих систем для малых космических аппаратов.