Константинов С. В., Комаров Ф. Ф., Чижов И. В., Зайков В. А. Оптические и электрофизические свойcтва нитридных TiAlSiN и карбонитридных TiAlSiCN покрытий: влияние режимов реактивного магнетронного нанесения // Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2024 Т.60, №2. С.162-176. doi:10.29235/1561-2430-2024-60-2-162-176