17 Степанова Л. И. Соколов В. Г. Скроцкая К. В. кремний химическое осаждение из растворов сплавы Ni-W-P морфология диффузия silicon electroless deposition Ni-W-P alloys morphology diffusion 2016 2025-03-11 Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия химических наук Обоснованы оптимальные условия формирования хорошо связанных с подложкой химически осажденных пленок Ni-W-P толщиной 100-120 нм на поверхности полированного кремния с предварительно осажденной и тер-мообработанной тонкой (~ 30 нм) пленкой сплава Ni-P. Показано, что наиболее мелкозернистые и плотноупакован-ные пленки, содержащие около 4 ат. % вольфрама и 15-16 ат. % фосфора, формируются из гипофосфитных растворов при соотношении концентраций солей никеля и вольфрама 1:1 и концентрации лиганда - цитрата натрия, в 5 раз превосходящей суммарную концентрацию солей восстанавливаемых металлов, при температуре 80 °С. Методом Ожеспектроскопии с ионным травлением показано, что двухслойные пленки Ni-P: Ni-W-P тормозят термостимули-руемую диффузию меди в объем полупроводника. https://www.academjournals.by/publication/12430 https://www.academjournals.by/files/12396